三軸 MEMS 陀螺儀測量載體的角速率,三軸 MEMS 加速度計測量載體的線加速度,產(chǎn) 品內(nèi)部進(jìn)行了全溫度參數(shù)的零位、標(biāo)度因數(shù)、非正交誤差和與加速度有關(guān)項的補償, 可以長時間保持較高的測量精度,其獨立結(jié)構(gòu)內(nèi)集成了高性能的MEMS陀螺儀以及MEMS 加速度計,選用的陀螺儀和加速度計均代表 MEMS 工藝慣性器件的領(lǐng)先水平。
指標(biāo)參數(shù):
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